Բարձր ջերմաստիճանի ցուցիչի կարեւորությունը

Վերջին տարիներին իմ երկրի սենսորային տեխնոլոգիան արագ զարգանում է, եւ դրա դիմումների դաշտերը նույնպես ընդլայնվում են: Որպես ժամանակակից չափման տեխնոլոգիայի առավել հասուն տեսակ, նոր տեխնոլոգիաներ, նոր նյութեր եւ նոր գործընթացներ անընդհատ հայտնվում են ճնշման ցուցիչների ոլորտում:

Pressure նշման ցուցիչը սարք է, որն օգտագործվում է ճնշման ազդանշանների հայտնաբերման եւ դրանք էլեկտրական ազդանշանների վերածելու համար, որոշակի կանոնների համաձայն: Այն լայնորեն օգտագործվում է տարբեր արտադրության, արդյունաբերական եւ օդատիեզերական դաշտում: Դիմումի դաշտերի ստորաբաժանման, բարձր ջերմաստիճանի եւ կոշտ միջավայրում ճնշման չափումն ավելի ու ավելի կարեւոր է դառնում, մինչդեռ սովորական ճնշման ցուցիչներում օգտագործվող նյութերը գերազանցում են որոշակի ջերմաստիճանը (օրինակ, սիլիկոնային ճնշման ցուցիչներում օգտագործվում է 120 ° C): ° C) ձախողվելու է, որի արդյունքում ճնշման չափման ձախողումը: Հետեւաբար, բարձր ջերմաստիճանի ճնշման ցուցիչը դառնում է շատ կարեւոր հետազոտական ​​ուղղություն:

Բարձր ջերմաստիճանի դասակարգումPress նշման տվիչներ

Ըստ օգտագործված տարբեր նյութերի, բարձր ջերմաստիճանի ճնշման ցուցիչները կարող են բաժանվել Polysilicon (Poly-Si) բարձր ջերմաստիճանի ճնշման ցուցիչների, SOI բարձր ջերմաստիճանի ճնշման տվիչների սիլիկոն-շափորների ճնշման ցուցիչ, սիլիկա-շափեր բարձր ջերմաստիճանի ճնշման ցուցիչ եւ այլ տարբեր տեսակներ: Բարձր ջերմաստիճանի ճնշման ցուցիչները շատ իդեալական են: Հետեւյալը հիմնականում ներկայացնում է SOI բարձր ջերմաստիճանի ճնշման ցուցիչը:

SOI բարձր ջերմաստիճանի ճնշման ցուցիչ

SOI բարձր ջերմաստիճանի ճնշման սենսորների զարգացումը հիմնականում կախված է SOI նյութերի աճին: Բարելավում է սարքի հուսալիությունը: Ա հավելումն, SOI սարքի շերտի բարձր ջերմաստիճանի բնութագրերի շնորհիվ այն դառնում է իդեալական նյութեր `բարձր ջերմաստիճանի ճնշման ցուցիչներ պատրաստելու համար:

Ներկայումս SOI բարձր ջերմաստիճանի ճնշման տվիչները հաջողությամբ զարգացել են արտերկրում, իսկ աշխատանքային ջերմաստիճանը `555 ~ 480 ° C; Ֆրանսիական Leti Institute- ի կողմից մշակված SOI բարձր ջերմաստիճանի ճնշման ցուցիչն ունի նաեւ ավելի քան 400 ° C- ի աշխատանքային ջերմաստիճան: Բացի այդ, Fatri ապագա առաջադեմ տեխնոլոգիական հետազոտությունների ինստիտուտը իրականացնում է նաեւ հետ կապված հետազոտական ​​աշխատանքներ, եւ ընթացիկ նախագիծը մտել է ցուցադրման փուլ:

SOI բարձր ջերմաստիճանի ճնշման ցուցիչի աշխատանքային սկզբունքը

Սկզբունքորեն, SOI բարձր ջերմաստիճանի ճնշման ցուցիչը հիմնականում օգտագործում է միայնակ բյուրեղյա սիլիկոնի պիեսորեզի ազդեցությունը: Շերտը կազմելու համար Wheatstone կամուրջ, ինչպես ցույց է տրված Նկար 2-ում (ա). Pressure նշման տակ գտնվող խոռոչի ճնշման տակ գտնվող խոռոչը ճնշման զգայուն կառույց ձեւավորելու համար փորագրված է:

Գծապատկեր 2 (ա) Wheatstone Bridge

Երբ ճնշման նկատմամբ զգայուն կառուցվածքը ենթարկվում է օդի ճնշման, փոփոխությունների դիմադրությունը, որն իր հերթին առաջացնում է ելքային լարման փնջը, եւ ճնշման արժեքը չափվում է ելքային լարման արժեքի եւ պիքոսիստորի դիմադրության արժեքի միջոցով:

SOI բարձր ջերմաստիճանի ճնշման ցուցիչի կեղծման գործընթաց

SOI բարձր ջերմաստիճանի ճնշման ցուցիչի պատրաստման գործընթացը ներառում է բազմաթիվ MEMS գործընթացներ: Որոշ հիմնական քայլեր հակիրճ ներկայացվում են սենսորի գործընթացը հասկանալու համար, հիմնականում ներառյալ Piezoresistor- ի պատրաստումը, մետաղական կապարի պատրաստումը, ճնշման պալատի փաթեթավորումը:

Բազմազանների պատրաստման բանալին ընկած է դոպինգի համակենտրոնացման եւ հետագա ձգձգման գործընթացի օպտիմալացմանը. Մետաղական կապարի շերտը հիմնականում ծառայում է որպես WheatStone Bridge- ի կապը. Pressure նշման զգայուն ֆիլմի պատրաստումը հիմնականում ապավինում է խորը սիլիկոնային փորագրման գործընթացին. Խոռոչի փաթեթավորումը սովորաբար տատանվում է, կախված ճնշման ցուցիչի կիրառությունից,

Քանի որ ներկայիս առեւտրային բարձր ջերմաստիճանի ճնշման ցուցիչները չեն կարող բավարարել հատուկ կոշտ միջավայրերի ճնշման չափման պահանջները, ինչպիսիք են բարձր ջերմաստիճանի յուղի հորերը եւ աերո-շարժիչները, բարձր ջերմաստիճանի ճնշման ցուցիչների հետագա հետազոտությունը անխուսափելի է դարձել բարձր ջերմաստիճանի ճնշման ցուցիչների: SOI բարձր ջերմաստիճանի ճնշման ցուցիչների հետագա հետազոտությունները պետք է կենտրոնանան բարձր ջերմաստիճանի ծանր միջավայրում սենսորների երկարատեւ կայունության եւ ինքնազսպման խնդիրների լուծման եւ ճնշման ցուցիչների ճշգրտության բարելավման վրա: ասպեկտ

Իհարկե, խելացի դարաշրջանի գալուստը պահանջում է նաեւ SOI բարձր ջերմաստիճանի ճնշման ցուցիչներ, որոնք զուգորդվում են այլ բազմամասնագիտական ​​տեխնոլոգիաների հետ `ավելի խելացի գործառույթներ բերելու համար, ինչպիսիք են ինքնուրույն փոխհատուցում, ինքնաբացարկ, բարձր ջերմաստիճանի բարձր ջերմաստիճանի առաքելությունը: Մի շարք